作为AMHS(自动化物料搬运系统)存储系统的重要一环,电子货架系统(E-Rack)是专为满足半导体晶圆盒存储与搬运过程中的查找、管理等需求而量身定制的高效解决方案。
弥费科技作为AMHS行业头部企业,基于对半导体晶圆厂制造环节和自动化设备的深刻理解,与海外知名IDM晶圆制造厂联合开发了可灵活高效、快速部署,灵敏适配多种制造工序载具的全新一代半导体电子货架系统。
MeetFuture E-Rack 使用嵌入式控制器架构对接FAB系统平台
实现设备通信稳定与高效
弥费科技自研电子货架系统E-Rack由框架、电源模块、主控模块、RFID读写模块和电气模块组成。
在产品设计方面,将E-Rack电气架构核心控制单元从传统PC机更换为更简化的嵌入式控制器。嵌入式控制器具有高性能和低功耗的特性,以嵌入式控制器为核心的电气架构中,嵌入式控制器负责处理所有的控制逻辑和数据交换,一方面实现对设备核心控制逻辑的优化,提高系统的响应速度和稳定性;另一方面简化电气线路,去除不必要的通信接口,实现设备的轻量化,同时降低了运维成本。此外,嵌入式控制器的采用也为未来E-Rack系统的升级和扩展提供了便利,基于该模块化的设计,弥费可以快速添加或更换组件,满足未来AMR模式下的对接需求。
MeetFuture E-Rack 模块化设计实现多种款式载具兼容(HA200)
电子货架系统E-Rack作为6吋与8吋晶圆厂中被最广泛应用的存储设备之一,不同的载具设备是E-Rack产品设计中定制化的关键。弥费科技通过对载具共性特征的深入识别和分析,实现了不同型号载具之间混用的模块化设计,能够允许客户根据不同的载具需求,灵活地选择和配置设备模块,从而提高E-Rack设备的兼容性和系统的适用性。
此外,为了进一步优化设备的使用体验,弥费E-Rack设计了可调整的RFID末端天线板卡。这一设计使得设备能够根据不同载具的使用需求进行快速切换。以HA200为例,用户只需简单地调整天线板卡,即可实现设备与特定载具的匹配,无需更换整个设备,不仅提高了设备的实用性,也降低了用户的维护成本,极大地提升了设备的投资回报率。
右HA200
MeetFuture E-Rack RFID高效数据读取
得益于弥费科技在AMHS传感控制方面的自主研发和生产能力,弥费科技E-Rack设备搭载了自主研发的RFID (ISO 15693) 识别模块,具备高稳定性的ID读取功能,传感器一旦被触发,能够在极短的300毫秒内迅速将ID信息传递至上层软件,所有数据,包括批次号、货位号、货架号等信息会实时发送至管理平台进行统一处理,极大地提升了数据处理的速度和效率。
自主研发的RFID (ISO 15693) 识别模块
截止目前,弥费E-Rack系统已成功与多家企业的EAP(Equipment Automation Program)系统完成对接,并在实际应用中展现出了卓越的稳定性与高效性,验证读取率高达99.99%,确保数据传输的可靠性。
MeetFuture E-Rack 对接上层管理系统的多样性配置
实现载具高效、精准管理
在SEMI规范框架的基础上,弥费科技E-Rack设备实现了与上层FAB管理系统的灵活对接,将设备的管理设置权限移交给了上层对接的管理系统,这种对接机制使得设备能够无缝地集成到现有的管理系统中,用户根据实际需求进行多样化的配置,提高了整体系统的协同效率和用户体验。
以载具读取信号灯为例,正常获取信息时,指示灯显示绿灯;如果信息缺失,则显示黄灯;当设备检测到异常情况时,指示灯会显示红灯;超时存放的载具,其格位指示灯会用过持续闪烁来吸引操作人员的注意,确保载具得到及时处理。在查找特定载具的位置时,则可以通过设置蜂鸣声音提示与指示灯的高亮显示相结合的方式实现高效定位。弥费E-Rack设备通过多样化配置实现了载具查找的高效率和准确性。
MeetFuture E-Rack 高性能低功耗,快速部署便捷维护,
助力客户可持续运营
弥费E-Rack设备标准配置16格储位,同时支持最大32格储位扩展。采用针对性的节能技术和材料,16格储位满载状态下功耗仅8W。这种低功耗特性让处于24小时×365天的运行中的E-Rack设备在保持稳定的性能的同时,减少了对电力资源的损耗。
此外,基于“快速部署”的客户需求,重新设计了产品组装与部署流程。在网络设计环节,当产品组装进入客户现场后仅需配置IP地址、对接网线插入、即可快速投入使用。在设备维护方面,电控箱内部的零部件更换仅需15分钟,确保设备故障场景下能够迅速恢复运行。而RFID读写器的更换仅需插拔网线,无需额外的工具或专业知识。具备快速部署产品特性E-Rack设备在Move in过程中不仅能够确保产品质量的可靠性,也降低了客户现场的安装和后期的维护成本。
MeetFuture E-Rack 全球化供应链布局最快实现全球内6周交付
弥费科技自研电子货架E-Rack系统,凭借其出色的系统性能、配置灵活性、快速组装技术,正逐步成为行业内的标杆。同时,凭借弥费科技在全球化供应链布局方面的深厚积累,能够实现从E-Rack产品组装到交付最短仅需6周的交付周期。对市场需求的快速响应,将进一步增强弥费科技在全球半导体AMHS市场的竞争力。