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浦东电视台专题报道|弥费科技AMHS助力半导体晶圆厂制造升级
发布时间: 2023-02-09

近日,弥费科技创始人、首席执行官缪峰先生应上海浦东电视台邀请,接受“海上派”节目组专访,重点介绍了作为我国集成电路产业链建设关键环节的弥费科技半导体自动物料搬运系统AMHS(Automated Material Handling System)。


完整版专访内容在2月9日晚20:05在浦东电视台首播,2月18日(周六)22:30在东方财经·浦东频道播出,具体以实际播出时间为准。下载「浦东新闻App」同步观看电视报道。



本次采访在弥费科技AMHS生产基地的设备作业声中开始,缪峰先生带领主持人沿着厂区主通道依次参观了生产、调试、仓储、质检、无尘室区域。

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在调试区,工作人员正围着一个晶圆存储柜进行最后的调试作业,它们在2月底就将搬入晶圆厂客户现场。

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在主通道最后端的无尘室,多台弥费科技自主研发的天车OHT正在Demo轨道上运行复杂轨道环境的调试,包括直轨、转弯、分轨、合流等等,以验证产品技术指标与系统稳定性。

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缪峰先生表示,天车是整套AMHS调度、存储、净化的核心设备,也是半导体晶圆厂提升产能效率和晶圆品质的关键设备。

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“在半导体晶圆厂的洁净室内,每一颗芯片要经历超过1000道的工艺步骤,对于晶圆在不同工艺环节的周转,不仅要符合质保期要求,同时还有减少机台闲置时间的效率要求。而传统工厂中的人作为搬运劳动力,其实是洁净室中最主要的灰尘来源,不仅无法满足洁净工厂的环境要求,也无法满足提高效率、稳定品质的生产要求。因此以天车为核心的成套化的AMHS系统是晶圆厂实现大规模量产下复杂工艺间的无人自动搬运,提升周转效率同时确保晶圆品质与良率的优先选择,是当前以及新建晶圆厂降本增效,布局数字化、智能化发展战略中的必备系统。”


在弥费研发中心,缪峰先生为主持人展示了AMHS软件系统中的一款监控模拟系统,它可以作为AMHS实施前的模拟,也可以作为运行过程状态的监控,是帮助晶圆厂实现合理规划的效率系统。

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谈及当前AI技术对生产效率升级的赋能时,他提到,弥费科技在2020年和华中科技大学建立了“先进制造人工智能算法研究中心”,该项目的投入就是基于半导体晶圆厂自动物料搬运系统AMHS开展AI算法优化研究,颠覆传统AMHS厂商以权重作为路径选择的软件方案,以算力提升生产效率,实现更少硬件资源下完成相同的物料传送体量,助力晶圆厂以可控的成本完成效率升级。

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在访谈环节,缪峰先生分享了弥费科技从2014年成立至今的发展故事。他谈到,弥费科技从一个地面搬运设备MR开始进入半导体AMHS细分赛道,逐步完成了包括传送、存储、净化等十多个硬件设备以及配套MCS软件调度系统的研发、生产、销售。2000平米的工厂自2020年投产以来每年保持满产运行,自去年启动的8000平米的新工厂也将在2023年投产使用,为弥费AMHS实现进一步规模化量产和产品技术快速迭代夯实发展基石。


除了提前布局积累的先发优势,由来自国内外多家外知名半导体企业的资深从业者组成的核心团队人才优势,知识产权团队与研发团队的自主知识产权成果优势,都成为弥费科技不断发展壮大的护城河。当前,弥费科技已成为国内极少数能提供国产替代化、软硬件成套化、产品客制化、供应链本土化的国内半导体晶圆厂AMHS整体解决方案供应商。


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在访谈最后,缪峰先生展望了弥费科技AMHS的发展之路,他表示,弥费一直以成为全球范围内具有影响力的半导体自动化设备及核心零部件企业为发展愿景,我们将以AMHS技术的不断进步助力半导体制造产业升级,引领智慧工厂的发展未来,成长为全球半导体AMHS市场的重要领导者。


浦东电视台“海上派”栏目介绍

“海上派”是浦东电视台推出的一档聚焦浦东创业、就业、经济形态、产业领域发展、品牌活动等方向,展现浦东及上海发展面貌的专题栏目,其中科技产业类节目制作经验超过百家,吸引了众多前沿科技类、创业类的各类企业、高新技术人才,以及对前沿科技拥有浓厚兴趣的观众,形成了精准目标群体。栏目时长25分钟,以“短视频故事+访谈”的形式呈现。




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