中国领先的半导体制造 AMHS 整体解决方案厂商弥费科技举办新一代智能存储解决方案揽星系列Stocker发布会。弥费科技首席技术官李宏伟博士担纲发布会主讲，对揽星系列产品进行了深入的技术解读和优势展示。
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李宏伟博士详细阐述了揽星系列在产品效率、技术创新、性能稳定性以及智能化四个关键维度上实现的突破。强调了公司研发体系在这些技术进步中的核心作用，展示了公司在半导体AMHS行业的深厚技术积累和广泛的客户端验证优势。
“关于AMHS存储解决方案Stocker”
在半导体制造工厂中，晶圆盒存储设备Stocker专为半导体生产工序间载具的存储而设计。作为生产线上的关键中转站和缓冲区，Stocker与AMHS的协同工作是提高厂区空间利用的关键。它不仅能够有效缓解物流拥堵，缩短传送周期，还能精准管理复杂的批次操作，确保生产设备的产能得到最大化利用。
01 提升产品效率助力客户高效生产
李宏伟博士指出，更高速的搬运需要机械和控制共同实现。揽星系列在提升生产效率方面的卓越表现，得益于产品采用了新型的传动机构，对Stocker堆垛机系统和机械臂系统都进行了优化，大幅提升了系统刚性，确保在更高速度下的平稳性和低振动。
同时，对控制系统在多轴联动控制上进行了算法和轨迹的优化，能够同时接收并处理多个搬运指令，进一步减少了重复通讯时间，实现了30%的速度提升。揽星系列多轴搬运机构支持最高2m/s的运动速度，实现最大200次每小时的搬运效率，达到行业领先水平。这种高效性降低了物料搬运的等待时间，实现了生产节拍的进一步优化，能够助力提高晶圆厂的整体产能。
02 引入创新技术引领行业标准
首先，揽星系列导入了在弥费科技OHT天车系统中非常成熟的CPS非接触供电技术，优化了Stocker内部空间布局，同时能够有效降低堆垛机线缆磨损与Particle问题，提升存储空间的洁净度水平。
针对12吋先进制程晶圆产品的保护，揽星系列做到了仅0.35G的振动值指标。这是因为揽星Stocker运动机构采用全新的减振设计，使用双滑轨和行走轮，并采用多轴插补联动控制与伺服控制算法，实现了对机械臂的精准控制与动态振动抑制。
同时为了适配更先进制程的晶圆存储，揽星系列采用了存储净化一体化设计，全部储位配置净化模块，可根据客户需求进行Purge功能配置，并基于控制软件实现更精准气路流量监控，快速达成目标湿度。
此外，揽星系列还采用了平台化设计架构，基于模块化设计理念，将Stocker各个模块、部件、子系统进行了更精细化的定义，各个功能模块能够独立维护与升级，使其可以更灵活的组合和扩展以满足不同客户的产品定制要求，特别是针对不同晶圆、光罩载具的适配，在机械臂的末端做了非常灵活的接口，支持各类末端夹持，各个模块都可以通过软件进行配置，实现高效的协同。这些创新技术的应用，不仅彰显了弥费科技在技术研发方面的深厚实力，也为半导体制造行业树立了新的技术标杆。
03 提升可靠性构建验证优势
性能稳定是半导体制造设备不可或缺的重要特性，揽星SS3000实现了可靠性指标平均无故障工作时间(MTBF)超过了2000小时。李宏伟博士介绍，揽星系列采用了分布式控制系统，将存储系统的多个模块进行了分布式设计，各自采用独立的控制器，提高了系统可靠性，在运动机构反馈控制上，使用了线性位移传感器，建立了全闭环控制，实现了正负0.5mm的更精准定位。
获得SEMI专业机构CE、S2、S23、F47 认证
同时，揽星系列还经过了超4000小时的连续集成测试，并获得了SEMI专业机构的多项认证，充分验证了其卓越的可靠性与稳定性。这些措施不仅确保了设备在长时间运行中的高效稳定，也为客户提供了更加可靠的生产保障。
他强调，取得这样的技术突破，得益于弥费过去的存储产品在客户现场的海量运行数据和客户直接反馈。基于这些数据，研发团队可以高效开展各种失效模式分析，开展正向仿真优化，从根本上提升可靠性，这也是我们弥费科技研发体系的重要工作方法。
04 智能化创新，推动半导体制造升级
最后，李宏伟博士还重点介绍了揽星系列在智能化方面的创新成果。他提到，基于弥费科技全自研的MCS物料控制系统软件，揽星系列通过存储软件MSSC标准接口设计，能够支持包括Sorter分选机，AMR移动机器人，OHT天车系统和Conveyor轨道系统等多种设备的对接和协同运行，实现快速集成，快速部署和快速切换。
在MSSC软件方面，通过基于数据分析的存储布局优化与基于序列预测的智能任务规划，揽星系列能够显著提升生产效率与存储效率，并为用户提供更加便捷、高效的操作体验。
发布会互动环节/ Q&A
Q1 您认为哪项技术创新最为关键，它如何提升了产品的整体性能？
李宏伟博士: “揽星系列是一个复杂而精密的存储解决方案系统，而且用在对可靠性和安全性要求极高的半导体制造工厂。因此刚刚介绍的这些产品亮点都不是单一的技术创新能够实现，它需要在系统设计和工程下，多个技术点共同作用实现。比如0.35G振动指标的达成，就包括机械，机构，伺服控制和软件算法多方面。”
Q2 揽星系列相比市场上的其他智能存储产品，有哪些独特的竞争优势？它如何满足客户的特定需求？
李宏伟博士: “揽星系列是基于超过100台上一代产品的大量运行数据分析和客户反馈，进行针对性设计优化，并融入了对行业趋势和共性问题的深入分析。我们提升了搬运效率至最大200笔/小时，可靠性超过2000小时，大幅提升客户生产效率。同时，引入多项新技术，满足半导体客户升级需求，提升产能和质量。”
Q3 能否分享一下揽星系列在实际应用场景中的具体案例，以及它为客户带来了哪些显著的价值和效益？
李宏伟博士: “揽星系列Stocker是半导体制造前后道的主要存储设备，它完全兼容上一代产品应用场景，涵盖8寸、12寸及光罩的各种标准和特定载具存储要求，老客户可直接升级，享受新性能、新安全、新可靠性带来的产能与效率提升。揽星振动指标低至0.35G，适用于晶圆更薄、更易碎场合，并配备空间净化系统，满足更先进制程的存储需求。”
Q4弥费科技在未来是否计划对揽星系列进行进一步的升级或扩展？
李宏伟博士: “揽星是一个完全平台化的设计，平台本身具备非常强大的扩展性和升级潜力，不管是软件和硬件，所以未来揽星每年都会有新发布，以满足客户持续的需求。我们升级的重点方向是四个：第一，持续提升可靠性，突破更高的平均无故障时间；第二，持续增强净化能力，满足先进制程的需求，第三，持续引入与人工智能相关的技术，比如视觉，大模型，数据分析，提升智能化交互的水平。第四，拓展一些全新的型号，满足晶圆制造工厂的特殊存储要求。
李宏伟博士在发布会最后表示：“我们相信揽星系列可以成为半导体AMHS行业的新标杆，可以满足新老客户的日益提高的存储需求，也可以引领市场存储类产品持续提升全球的竞争力。请大家持续关注弥费科技，我们在下半年还会有其他多种新产品上市，会有更多发布会期待您的参与。”
弥费科技新一代智能存储解决方案揽星系列Stocker的发布标志着弥费科技已完成研发、测试全价值链体系的优势构建。作为中国半导体AMHS行业领先厂商，弥费科技将依托在AMHS领域的深厚技术积累，以技术创新为驱动，全面推进自动化物料搬运系统（AMHS）升级，为客户提供更加优质、高效的产品和服务。
