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天车
通过智能算法调度软件的控制，OHT天车代替洁净室车间人员进行晶圆载具的搬运。提高生产效率和生产质量，实现智能制造，节约生产成本。

可选配置：FOUP / POD / Reticle OHT
功能亮点：

天车结构更紧凑

行走速度提升

取放货速度更快

晶圆盒运送更平稳

更完善的轨道分合流控制

软件描述
MSTC天车控制系统
MeetFuture Smart Transport Controller
OHT路径规划及调度，用路径算法找出多路线中的最佳路径，并时实监控交通避开事故点。对接MES上位机，将下发的传输和控制命令，转换为对AMHS的控制并向HOST上报相关状态信息。

应用场景 : OHT路径规划及动态调度控制
配套产品
OHT轨道系统
塔式升降机
载具吊装校准平台
皮带式升降机
防火门
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洁净室传送线
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OHT轨道系统
产品功能
OHT轨道吊挂于无尘室天花板，轨道系统包含直轨、弯轨、非接触供电、通信网络等。轨道连通各工作工位，满足安装强度、精度、洁净度、振动、通行效率等要求，确保OHT天车在轨道上面高效稳定运行，实现天车点到点搬送能力。

可选配置：单层轨道/双层轨道，非冗余供电/冗余供电，N型、Y型、R型等弯轨
功能亮点：

双层轨道系统，实现更复杂的搬送需求

轨道交通控制系统（TCU）,控制OHT天车在轨道上有序通行，保证搬送效率

CPS 非接触供电系统，供电冗余技术

塔式升降机
产品功能
塔式升降机通过升降机内部的链条实现天车投入轨道或降下维修，采用封闭设计，完成天车轨道与地面工装小车的连接。

型号：MLT-T30、 MLT-T30-A
功能亮点：

封闭设计保证安全

具备安全检查传感器

地面接口设置防护门

载具吊装校准平台
产品功能
天车矫正平台具备对小车放置产品初始位置的矫正功能。矫正平台可对（OHB(左)、 OHB(右)、STK、LPS）四种工位的放置位置进行矫正。

配置：TST-T10 8寸/12寸
功能亮点：

使用场景广泛

便于操作

皮带式升降机
产品功能
皮带式升降机用于天车投入轨道或降下维修，通过皮带传输的方式连接地面工装小车，开放式设计，占用空间小。

型号：MLT-B20
功能亮点：

使用场景灵活自由

节省空间

具备安全检查传感器

便于操作

防火门
产品功能
安装于FAB厂相邻车间及连廊与车间连接处，火警系统确认火灾后向天车系统发送信号，防火门接收信号后关闭，能有效阻挡FAB内的火情。

型号：MFD-100
功能亮点：

耐火极限3小时

通过UL防火认证

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