TLP Software
TLP Software
具有智能、高效、稳定、专业等特点的上位软件,配合自定义的吹气策略和完善的状态监控,有助于保持晶圆盒内的清洁和干湿度稳定,以保证晶圆的特性和质量。
功能亮点:
▪ 支持标准的三段式吹气控制。
▪ 搭配FabScope 能显示当前所有设备运行状态信息。
功能亮点:
▪ 支持标准的三段式吹气控制。
▪ 搭配FabScope 能显示当前所有设备运行状态信息。