空中缓存净化设备
配合天车轨道系统,为光罩盒提供空中批量存储货位,提高晶圆厂得空间利用率,最大化晶圆载具在各个工序间得传送效率。通过Purge管路布局,加装净化单元充入纯净气体,保证光罩盒内微环境,提高良品率。

可选配置:储位:1格位、2个格位、3格位、4格位
功能亮点:

组合式搭配行架

集成式控制整条Bay

可独立控制具体Shelf

断电可持续Purge

有货吹气,无货不吹

ilde Purge

软件描述
OHBP Software
OHBP Software
OHBP控制系统对整条Bay的Port进行洁净吹气,分为始终吹气和感应吹气两种类型,其可配置RFID传感器、温湿度传感器,可记录Foup放置的次数,以及整个Purge过程的温湿度变化,当RFID读取异常、温湿度未达标,具有实时报警功能;

Web UI界面可手动调节比例阀,实时控制气流量、可调节温湿度 流量 压力监控范围、亦可手动控制电磁阀的开关等操作。

功能亮点:
▪ 多盘位实时监控,稳定可靠。
▪ 搭配MF FabScope 系统,快速定位异常盘位状态。
▪ 支持Recipe 管理。
重要参数


技术指标参数
Flow Spec0~50L/Min
湿度RH<10%Purge时间根据流量大小

进气压力

精度±1.5%,量程60SLM

出气压力

精度±0.5%

过滤精度

0.003um

RFID读取成功率

>99.99%

位置传感器

2 Pcs


配套产品
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OHBP Software
产品功能
OHBP控制系统对整条Bay的Port进行洁净吹气,分为始终吹气和感应吹气两种类型,其可配置RFID传感器、温湿度传感器,可记录Foup放置的次数,以及整个Purge过程的温湿度变化,当RFID读取异常、温湿度未达标,具有实时报警功能;

Web UI界面可手动调节比例阀,实时控制气流量、可调节温湿度 流量 压力监控范围、亦可手动控制电磁阀的开关等操作。
功能亮点:

多盘位实时监控,稳定可靠

搭配MF FabScope 系统,快速定位异常盘位状态

支持Recipe 管理