光罩盒存储柜软件系统
Reticle Cabinet Software
实时反馈当前货位的货物信息、充气时间、充气阶段,并进行流量监控与报警。
功能亮点:
▪ 支持触屏控制。
▪ 支持客户参数动态配置。
▪ 支持与EAP 和MF FabScope 系统对接。
功能亮点:
▪ 支持触屏控制。
▪ 支持客户参数动态配置。
▪ 支持与EAP 和MF FabScope 系统对接。