弥费科技全球领先的半导体AMHS整体解决方案供应商

产品中心

AMHS传输设备

天车洁净室传送线协作式机器人

AMHS存储净化设备

晶圆盒存储设备光罩盒存储设备塔式存储设备近机台缓存设备机台净化设备空中缓存净化设备光罩盒存储设备机台前端净化设备人工上下料净化机台电子货架

AMHS 软件系统

MCS物料控制系统 AMS监控仿真系统

AMHS传感控制设备

RFID 读码器 SmartTag 读码器 E84光通信

光罩盒存储设备

Reticle Cabinet是带充气功能的光罩盒储存设备，用于批量存储集成电路生产用的光罩盒，通过充入纯净气体，保证光罩品质。
弥费Reticle Cabinet在国内首次实现了在极小流量情况下极短时间内使光罩盒湿度下降到RH10%以下。

功能亮点：

亲和人机界面

稳定系统集成

抽屉式设计大容量存储

高速持续净化

兼容多种EAP通信

软件描述

光罩盒存储柜软件系统

Reticle Cabinet Software

实时反馈当前货位的货物信息、充气时间、充气阶段，并进行流量监控与报警。

功能亮点:
▪ 支持触屏控制。
▪ 支持客户参数动态配置。
▪ 支持与EAP 和MF FabScope 系统对接。

重要参数

技术指标	参数
尺寸（长宽高）	2217mm1058mm1913mm
重量（满载空载）	630kg&460kg
Self （位置数量）	84个
存储POD类型	SMIF POD RSP3 RSP1
RFID读取率	≥99.999%
电源	220V，50Hz，2A

相关产品推荐

Near Tool Buffer（NTB）

立即查看

机台净化设备

Tool Loadport Station（TLP）

立即查看

空中缓存净化设备

Over Head Buffer（with Purge）

立即查看

机台前端净化设备

Front Purge System（FPS）

立即查看

人工上下料净化机台

Loadport Purge Station(LPS)