人工上下料净化机台
Load Port Station 配合OHT通过E84通讯,进行FOUP上下料,并能够与上层系统MCS/EAP进行事件沟通。

可选配置:单、双PORT;Clamp
功能亮点:

亲和人机界面

稳定系统集成

Load/UnLoad自主切换

具有SEMI S2认证

兼容多种EAP通信

具备Clamp

软件描述
LPS Software
LPS Software
实时显示每个平台(Port)的运行状态,包括运行模式、业务状态、传感器状态、外部io输出状态、Foup相关信息。

功能亮点:
▪ 单体客户端架构,降低硬件需求,易于部署维护,支持多种数据库。
▪ 精准辨识产品资讯,配合AMHS系统可快速完成产品传送,实现现场产品流程运作最佳状态。
▪ 减少人力运输风险,降低营运成本,确保最佳产品质量。
重要参数
技术指标参数
尺寸(长*宽*高)

272(mm)*523(mm)*1720(mm)

重量

150kg

负载(位置数量)

30kg

震动

<0.5G

噪音

≤70Db


返回上一页