近机台缓存设备
NTB(Near Tool Buffer)用于晶圆厂对接天车与机台上下料口的缓存设备,减少机台等待时间,提高机台的利用率。 弥费NTB 设计符合SEMI E15.1,可与符合E15.1 标准的Load Port完美对接。

可选配置:2/3/4 Port
功能亮点:

亲和人机界面

稳定系统集成

个性化定制Buffer数量

快速移动功能

具有SEMI S2/F47认证

兼容EAP/MCS通信

软件描述
智能缓存控制系统
NTB Software
具有智能、高效、稳定、专业等特点的NTB监控软件,提供对无尘室存储库的智能化管理功能,通过HSMS标准协议接收来自客户上位系统如MCS或EAP下发的搬运指令,实现FOUP的存取动作。通过E84 实现与标准LoadPort 或者Sort 设备对接。

NTB服务端实现接受上位MCS或者下位NTB用户手动创建的任务,将指令转发PLC执行,并实时监控 PLC的执行反馈信息,上报PLC 执行信息和异常报警信息,以达到自动进行入库和出库控制和设备状态监控上报。

功能亮点:
▪ 作为制程设备的扩展口,能与标准设备快速对接,解决部分无法与天车对接的设备遇到的问题。
▪ 采用智能算法优化存储库的指令执行和货位管理逻辑,缩短晶圆盒的存取搬运时间。
▪ 提高存储库出入库频次和利用效率,最终提高晶圆厂的单位产出率,为晶圆厂创造更多的价值。
重要参数
技术指标参数
尺寸(长*宽*高)

2 Port:2220(可定制)*750*2780(可定制)

定位精度

±0.5mm

存储类型

Foup

洁净等级

≤Class100

throughput<30s

震动

<0.5g

噪音

<75DB


返回上一页