弥费科技全球领先的半导体AMHS整体解决方案供应商

产品中心

AMHS传输设备

天车洁净室传送线协作式机器人

AMHS存储净化设备

晶圆盒存储设备光罩盒存储设备塔式存储设备近机台缓存设备机台净化设备空中缓存净化设备光罩盒存储设备机台前端净化设备人工上下料净化机台电子货架

AMHS 软件系统

MCS物料控制系统 AMS监控仿真系统

AMHS传感控制设备

RFID 读码器 SmartTag 读码器 E84光通信

塔式存储设备

Tower Stocker用于半导体晶圆厂洁净室内物料的跨楼层存储和传送。
弥费科技研发的跨楼存储设备通过主机升降取放进行跨楼层传送，升降速度可达3.5 m/s，实现洁净传送。

可选配置：人工口/天车口数量

软件描述

MSSC存储控制系统

MeetFuture Smart Storage Controller

提供对无尘室存储库的智能化管理功能，通过HSMS标准协议接收来自客户上位系统如MCS下发的搬运指令控制自动存取机械手实现光罩盒的存取动作。

应用场景 : 存储设备的控制与库存查询

功能亮点:
▪ 弥费智能存储控制系统采用的智能算法优化存储库的指令执行和货位管理逻辑缩短光罩盒的存取搬运时间提高存储库出入库频次和利用效率。

重要参数

技术指标	参数
尺寸	1800mm(W) x 1800mm(L)
传动方式	Y/R/A 减速机+皮带
重复点位精度	±0.5mm
噪音	≤75db
震动	≤0.5G
洁净等级	Class:100