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协作式机器人
半导体晶圆厂地面搬运FOUP/POD，对接MRC进行任务调度；
实现设备与设备间搬运、设备与E-Rack间搬运。
实现设备与设备间搬运、设备与E-Rack间搬运。
功能亮点：
亲和人机界面
稳定系统集成
对接多种设备
具有Semi S2，Semi S17认证
重要参数
| 技术指标 | 参数 |
| 装载量 | 2个Foup |
洁净等级 | Class100 |
MR 认证标准 | Semi S2，Semi S17 |
续航时间 | 8h |
充电方式 | 手动更换电池或自动充电 |
充电时间 | 4h |
导航方式 | 安全扫描激光器、SLAM 扫描 |
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