晶圆盒存储设备
Stocker用于半导体洁净室内生产工序与工序之间晶圆载具的传送和存储,支持多种载具POD/Foup,以及净化功能。 弥费Stocker 走行可达2m/s,性能追赶业内顶级水平,并致力于打造国内乃至全球的高性能设备。

可选配置:人工口/天车口数量/Sort口/Purge 功能/Auto Teaching/RFID/无线供电
功能亮点:

亲和人机界面

稳定系统集成

符合SEMI标准的间距设计

具备净化系统

具有SEMI CE/S2/S23/F47认证

可与多家MCS对接

Port口数量可灵活配置

软件描述
MSSC存储控制系统
MeetFuture Smart Storage Controller
提供对STK的智能化管理功能,遵循SEMI E88协议,接收客户上位系统如MCS的命令指派来实现对晶圆盒的入库和出库操作。配合3D相机,可快速实现AutoTeach 功能,方便工厂安装实施。支持RFID、SmartTag 等标签的读取。搭配弥费自研的RFID、SmartTag、E84模块,让设备读取成功率达到同行领先标准。

应用场景:存储设备的控制与库存查询

功能亮点:
▪ 弥费智能存储控制系统采用了智能算法优化存储库的指令执行和货位管理逻辑缩短晶圆盒的存取搬运时间提高存储库出入库频次和利用效率。
▪ 支持与多种主流的MCS对接,方便系统开始实施。
重要参数
技术指标参数

尺寸(长*宽*高)

8300(可定制)*1430*5350 mm(可定制)

存储类型

POD

洁净等级

≤Class100

throughput

≥180Lot/H

震动

<0.5g

噪音

<75DB


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